压电振动陀螺元件及其制造方法、压电振动陀螺传感器

摘要

一种压电振动陀螺元件及其制造方法。在从连接臂(24a、24b)的前端部沿着其延伸方向进一步延伸的延长部(27a、27b)的侧面上，在两侧设置与驱动用振动臂(26a、26b)的延伸方向垂直的方向的平面部(28a、28b)。形成在厚度方向横断延长部的前端面并连接在连接臂前端部和延长部的正反主面之间的布线(42)，使驱动用振动臂的正反主面的第1驱动电极(35、35)构成相互电连接。在进行电极分割的曝光工序中，对延长部的平面部，在垂直方向并且从与驱动用振动臂的主面垂直的方向倾斜某种角度的上方同时对主面和侧面进行曝光。由此，可在确保振动臂的弯曲振动的对称性的基础上，进行简单且正确的电极分割。

主权项

1.一种压电振动陀螺元件，其特征在于，包括：从中央支撑部向两侧延伸，并且在正反主面具有第1检测电极、在侧面具有第2检测电极的1对检测用振动臂；从所述中央支撑部垂直于所述检测用振动臂向两侧延伸的1对连接臂；从所述各连接臂的前端部垂直于所述连接臂向两侧延伸，并且在正反主面上具有第1驱动电极、在侧面具有第2驱动电极的各1对驱动用振动臂；和从所述各连接臂的前端部沿着所述连接臂的延伸方向进一步延伸的延长部，所述延长部的侧面具有：前端面和沿着其延伸方向在两侧与所述驱动用振动臂的延伸方向垂直的方向上的平面部，所述驱动用振动臂的正反主面的所述第1驱动电极通过在厚度方向横断所述延长部的前端面并连接在所述前端部和延长部的正反主面之间的布线图形构成相互电连接。