倾斜搬运行扫描检查方法

摘要

本发明提供一种倾斜搬运行扫描检查方法，能简化用于平面显示器的玻璃基板检查工序，并能提高检查精密度及检查速度。其包括以下步骤：由行扫描摄像机对被倾斜搬运的玻璃基板进行行扫描，并检测被扫描的各像素灰度值；把从像素的被检测出的灰度值中减去预定的中间灰度值所得第一差值，与机器敏感度阀值进行比较；对像素中第一差值比机器敏感度阀值大的像素的周围区域的像素灰度进行测定，并把从该测定值中减去玻璃基板平均灰度值所得第二差值与预定的检查敏感度阀值进行比较；把第二差值大于检查敏感度阀值的区域判断为缺陷，并把缺陷分成特定种类进行大小指标分配；及把具有各大小指标的缺陷数与设定的限度数进行比较来判断是否合格。

主权项

1、一种倾斜搬运行扫描检查方法，包括以下步骤：由行扫描摄像机对被倾斜搬运的玻璃基板进行行扫描，并检测被扫描的各像素灰度值的步骤；把从前述像素的被检测出的灰度值中减去预定的中间灰度值所得第一差值，与机器敏感度阀值进行比较的步骤；对前述像素中前述第一差值比机器敏感度阀值大的像素的周围区域的像素灰度进行测定，并把从该测定值中减去前述玻璃基板平均灰度值所得第二差值与预定的检查敏感度阀值进行比较的步骤；把前述第二差值大于检查敏感度阀值的区域判断为缺陷，并把缺陷分成特定种类进行大小指标分配的步骤；及把具有各大小指标的缺陷数与设定的限度数进行比较来判断是否合格的步骤。