| 发明名称 | 气阀组件和使用相同气阀组件的装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于沉积装置的气阀组件，其包括：一个其中包括多个气体供应通道的驱动机械轴；一个围绕驱动机械轴并且其中包括多个通孔的外壳；在驱动机械轴和外壳之间的多个磁性密封对，所述磁性密封对包括磁性流体；和一个在机械轴和外壳之间的防漏构件，所述防漏构件防止磁性流体泄漏。 | ||
| 申请公布号 | CN1573184A | 申请公布日期 | 2005.02.02 |
| 申请号 | CN200410047873.4 | 申请日期 | 2004.06.17 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 李相坤 |
| 分类号 | F16K11/085;F16K41/00;C23C26/00 | 主分类号 | F16K11/085 |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王允方;刘国伟 |
| 主权项 | 1.一种用于一个沉积装置的气阀组件，其包含：一个驱动机械轴，其中包括多个气体供应通道；一个外壳，其围绕所述驱动机械轴并且其中包括多个通孔；在所述驱动机械轴和所述外壳之间的多个磁性密封对，所述多个磁性密封对包括一个磁性流体；和一个在所述驱动机械轴和所述外壳之间的防漏构件，所述防漏构件防止磁性流体泄露。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||