| 发明名称 | 光掩模坯在保持装置中接地的方法 | ||
| 摘要 | 用于光掩模坯的保持装置，包括设有用于光掩模坯(4)的支承面(3)的保持体(1)及与光掩模坯(4)的一个导电层(6)可形成电接触的接地单元(10)。接地单元包括一个接触顶尖(15)，它可被这样地操作，即它可在实质上对放置在该保持装置中的光掩模坯(4)无侧向相对移动的情况下向下移动到光掩模坯上。 | ||
| 申请公布号 | CN1187655C | 申请公布日期 | 2005.02.02 |
| 申请号 | CN99806027.5 | 申请日期 | 1999.03.11 |
| 申请人 | 因芬尼昂技术股份公司 | 发明人 | G·戈德尔;A·厄尔曼;G·翁格尔;W·贝森贝克;A·雷特尔 |
| 分类号 | G03F7/20;G03F1/08;H01J37/20 | 主分类号 | G03F7/20 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 苏娟 |
| 主权项 | 1.光掩模坯(4)在一个保持装置(1)中的接地方法，该光掩模坯(4)设有一个铬层(6)，在该方法中，首先将光掩模坯(4)定位在保持装置(1)的支承面(3)上，然后使装在一个簧板(12)上的接触顶尖(15)垂直于光掩模坯(4)的表面向下移动到光掩模坯(4)上，其特征在于：使接触顶尖(15)被控制地下降到光掩模坯(4)的表面上是通过将与簧板(12)连接的、构成保持装置(1)上可调节止挡的调节螺丝(18)调节一个确定量，由此使接触顶尖(15)下降到光掩模坯(4)的表面上及以预定的压入压力压入到光掩模坯(4)的表面中。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||