碳化矽单晶之生长方法、碳化矽种晶、及碳化矽单晶

摘要

一种制造单晶的方法，包括将来自于当作原料的碳化矽之蒸汽气体供应给由碳化矽单晶所组成之种晶，以使此种晶生长。此种晶系配置于晶体生长的一部件中，此种晶的晶体面系与(0001)平面或(000－1)平面倾斜，藉此来达成晶体生长。