晶圆偏心矫正卡匣

摘要

一种晶圆偏心矫正卡匣，系用于晶圆输送之设备中，以提供晶圆置放的中心位置偏移之矫正的功能，该晶圆偏心矫正卡匣包括一盖板、复数个第一晶圆矫正板、复数个第二晶圆矫正板、复数个间隔环。一底杆与一底板以及第一卡匣底座与第二卡匣底座。该晶圆偏心矫正卡匣，系将真空吸附装置吸放晶圆过程中，所产生之晶圆置放的中心位置偏移予以矫正，一方面可提供机械手臂间转接之功能，使真空吸附装置与晶圆底部之接触式之大气机械手臂作双向之传输，另一方面可使卡匣承载室(Load Lock Chamber)具有储放大量处理前及处理后之晶圆的功能，俾机械手臂于适当之时机再行存取晶圆。