检查光罩对位准确度之方法

摘要

本发明之检查光罩对位准确度之方法首先使用一第一光罩形成一第一对位记号于一基板上，然后进行一掺杂制程以硬化该第一对位记号。之后，使用一第二光罩形成一第二对位记号于该基板上，再藉由比较该第一对位记号与该第二对位记号之相对位置以检查光罩对位准确度。该掺杂制程之掺杂浓度系介于1×10^15至5×10^15掺质／立方公分，掺质系选自氩、氮、砷、硼离子、磷离子及二氟化硼离子构成之群组，而掺杂能量系介于10至50仟电子伏特。