微型振动式双轴感测陀螺仪

摘要

一种微型振动式双轴感测陀螺仪，其包括一基座，于基座中心设有一支撑柱，于支撑柱外围设有复数以该支撑柱为中心、等水平高度径向向外成放射状延伸之悬臂，悬臂外侧端以该悬臂为中心分向两侧等距水平延伸形成一平台，于平台顶部两端各电镀有一电容感测电极或静电驱动电极，于平台下方设有静电驱动电极或电容感测电极，若平台顶部为电容感测电极，平台下方为静电驱动电极时，当给予驱动电压，悬臂及平台受静电吸引呈垂直振动，且相邻两悬臂及平台振动相位相差180度，当陀螺仪受水平方向旋转，因科氏力使得悬臂及平台产生水平位移，藉由量测电容值改变即可测得旋转角速度大小；反之，平台顶部为静电驱动电极，平台下方为电容感测电极时，悬臂及平台受静电吸引呈左右方向振动，当陀螺仪受水平方向旋转，因科氏力使得悬臂及平台产生上下位移，藉由量测上下方向电容值改变，即可测得旋转角速度；其结构具有对称性，因此拥有X或Y方向双轴感测性能，稳定性与抗环境振噪能力较佳，可提升感测性能，并其加工方式简单，适于大量生产、成本低。