有机电激发光元件之成膜设备

摘要

本发明系为一种有机电激发光元件之成膜设备，其特别系指利用携带气体将坩锅内之蒸气(蒸镀材料分子)经由加热管传输至该混合腔体机构之温度控制式中空腔体内，且利用该聚焦腔体表面之圆弧设计，提供聚焦功效，又该蒸气通过中空旋转轴流至旋转扫描臂内，该中空旋转轴系藉由一传动单元驱动旋转，并利用旋转扫描臂表面之数个喷洒孔将蒸气以旋转方式沉积于基板之表面，使该基板表面形成一均匀膜厚。