制备材料晶片之装置及方法

摘要

本发明系提供一种制备材料晶片之装置及方法，前述装置系具有至少两个可移动式之溅镀靶，藉由改变溅镀靶之位置、倾斜角度、移动速率与溅镀功率来控制材料晶片之组成，以快速形成不同组成之化学材料晶片。本发明之装置及方法，可用来制造金属或非金属材料晶片，以开发相关新材料。