积体电路元件之重工方法

摘要

一种积体电路元件之重工方法，适用于重工已形成在介电层层上之阻障层、导电层与抗反射层，该方法以乾式蚀刻法去除该抗反射层，之后，以湿式蚀刻制程移除导电层，再以化学机械研磨制程移除阻障层。