电浆产生系统

摘要

本发明系有关于一种电浆产生系统，主要是将交流的高频供应器与微中空阴极之电极连接，利用该微中空阴极之绝缘材料的两面附有一层金属导电层，并设立满布之细小孔洞供气体通过，使之在常压下可以产生具有高均匀性且稳定之电浆，且形成大面积之均匀冷电浆，可作为待清洁物之清洁、镀膜、表面改质及蚀刻等加工操作，成为一种可以达到不会过度侵蚀，且离子能量适中不会造成污染、可加大制程视窗且不会对基板造成伤害，且能有效提高蚀刻速率的电浆产生系统。