电浆监控方法,电浆监控装置及电浆处理装置

摘要

本发明即使是在低电子密度条件或高压力条件下还是可以正确地测定电浆中的电子密度。此电浆电子密度测定装置是在测定部54具备向量式的网路分析器68。以该网路分析器68来测定复素数表示的反射系数，而取得其虚数部的频率特性，且于计测控制部74中读取复素反射系数的虚数部零交叉的点的共振频率，而由共振频率来算出电子密度的测定值。