电浆处理装置及其电极构造

摘要

本发明于大面积被处理物用之电浆处理装置减低电极之库伦力所造成之挠曲量，确保表面处理之均匀度。电浆处理装置之电极构造30X系由分别左右延伸且前后互相对峙之1对电极列31X、32X所组成。各电极列系以左右排列之复数电极构件31A～32C所构成，左右方向实质上配置于相同位置之一方电极列与另一方电极列之电极构件彼此具有互相相反之极性，于互相之对向面之间形成列间部分间隙33p。并且，各电极列之相邻电极构件彼此之极性互相相反。