| 摘要 |
在未使用取代液下，解决因剥离液与洗净水之混合所导致之强硷液生成的问题。使基板40依次通过剥离区10、避液区20及取代区30。在剥离区10中，藉由冲洗单元11供给剥离液于基板40表面之后，藉由以设置于出口部之喷气嘴12，12所形成之空气刀，除去残留于基板40表面之剥离液。在取代区30中，藉由以设置于入口部之喷水嘴31所形成之水刀，供给洗净水于基板40表面，然后，以冲洗单元33散布洗净水于基板40表面。为了防止朝向洗净水上游侧之扩散，以设置于喷水嘴31之上游侧的喷嘴32来形成空气刀，管控避液区20内于正压。 |
