蒸镀用光罩之制造方法及蒸镀用光罩

摘要

本发明之目的在于，提供一种蒸镀用光罩之制造方法，其可获得高加工精度，同时作业性良好，且可防止薄板材的折断、变形等的不良发生。作为解决问题之手段，使用介插入具有耐蚀刻性且对指定药液具有溶解性的材料所形成的中间层，而将第1金属层与第2金属层层叠的薄板素材，从两面蚀刻薄板素材，于第1金属层上形成使蒸镀材料依所需要求通过用的开孔部，同时，以在第2金属层之第1金属层之开孔部的形成区域以外的区域内残存框部的方式，形成使蒸镀材料通过用的开孔部，之后藉由指定药液使中间层的曝露部分溶解并除去。