| 主权项 |
1.一种化学上放大之正型阻体组成物,包含:树脂(X),其具有自(甲基)丙烯酸二羟基-1-金刚烷基酯所衍生之4~70mol%聚合单位(a)及自(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金刚烷基酯所衍生之30~80mol%聚合单位(b),上述数量系基于树脂之总单位,其中,自(甲基)丙烯酸二羟基-1-金刚烷基酯所衍生之聚合单位(a)经由下式(I)代表:其中R1代表氢或甲基,且自(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金刚烷基酯所衍生之聚合单位(b)可经由下列(II)代表:其中R2代表氢或甲基而R3代表C1-6烷基,且该树脂,就其本身而论系不溶或略可溶于硷中但是由于酸的作用,变成可溶于硷中;及一种酸产生剂(Y)。2.如申请专利范围第1项之阻体组成物,其中自(甲基)丙烯酸二羟基-1-金刚烷基酯所衍生之聚合单位(a)是自(甲基)丙烯酸3,5-二羟基-1-金刚烷基酯所衍生之一个单位。3.如申请专利范围第1项之阻体组成物,其中树脂(X)另外具有自(甲基)丙烯醯氧基--丁内酯所衍生之聚合单位,其中内酯环可使用C1-6烷基及/或自马来酸酐所衍生之聚合单位视需要予以取代。4.如申请专利范围第1项之阻体组成物,它另外包含一种胺作为骤冷剂。 |
