用于追踪及管理复数光罩的方法与系统、用以储存执行前述方法之电脑程式的资讯储存媒体

摘要

本发明提供用于跨厂区光罩制程管理之软体机制。该机制系于半导体制造环境中，追踪并管理复制光罩之使用。其建立包含复数作业单元之一虚拟晶圆厂，其中每一作业单元与一晶圆厂内部制程及一晶圆厂外部制程相关联。其建立一状态图，用以于该复数作业单元中追踪记录该复数光罩的使用状态。上述状态图包含每一光罩之一预定状态，并藉由该状态图决定该装置之一位来位置。