发明名称 喷嘴洗净装置
摘要 本发明系提供一种一边旋转刷子,一边使该刷子的轴可上下、左右移动之喷嘴洗净装置。该喷嘴洗净装置系洗净在下端部形成缝隙状吐出口之缝隙喷嘴的装置,该洗净装置系在充满洗净液的洗净槽内使其轴成为与上述缝隙状吐出口平行的方式配置圆筒状长尺刷而成,该长尺刷之长度系大致与缝隙喷嘴的长度等长,可绕着轴旋转且可在与轴垂直的水平方向及上下方向上设为可往复移动。
申请公布号 TW200503839 申请公布日期 2005.02.01
申请号 TW093105955 申请日期 2004.03.05
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 青木泰一郎;大石诚士
分类号 B05B15/02;B08B1/04;H01L21/304 主分类号 B05B15/02
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本