有机发光显示元件具有平缓图案边缘之铟锡氧化物画素电极的制作方法

摘要

一种有机发光显示元件之制作方法，首先制作一氧化铟锡层于一基板之上表面，并形成一光阻层于氧化铟锡层之上表面，以定义氧化铟锡层之图案。随后，透过此光阻层蚀刻氧化铟锡层，并通入一反应气体，增加侧向蚀刻光阻层之速率，以逐步露出光阻层下方之氧化铟锡层，使蚀刻后氧化铟锡层之图案边缘处，产生一平缓斜坡延伸至基板之上表面。随后，制作一有机发光层于基板上，覆盖氧化铟锡层，并制作一导电层于有机发光层上。