电浆反应腔体

摘要

本发明系提供一种电浆反应腔体，其包含有一下电极以及一环形体，该下电极系设于该电浆反应腔体之底侧，且该下电极之上表面系用来承载一基板，以进行一电浆反应于该基板上，而该环形体系以可移动之方式套合于该下电极之周围，其中当该下电极承载该基板以进行该电浆反应时，该环形体系移动至该下电极之上方，以将该电浆反应之电浆离子集中于该基板之上。