短光纤探针与微型石英音叉装置式近场扫描光学显微仪

摘要

本发明系为一种使用短光纤探针与微型石英音叉装置来提高近场扫描光学显微仪的力学感测与回馈机制的新式近场扫描光学显微仪方法。