半导体或液晶制造装置用支撑体或装有该支撑体之半导体或液晶制造装置

摘要

本发明是一种用于半导体或液晶制造装置中的支撑体－以及安置有该支撑体的半导体或液晶制造装置，其中已处理目标物定位面的温度均一性会被提高。利用陶瓷晶座上的陶瓷与金属复合物来组合该支撑体，改善支撑体之已处理目标物定位面内的温度均一性，并促进微粒与其它污染物的产生减少。此外，将涂布层涂布到至少该定位面上，改善支撑体的耐用性。将这种支撑体安置到半导体制造装置或液晶制造装置内，让半导体或液晶制造装置的生产力与生产量都相当优异。