用以产生电浆之电浆源线圈及电浆反应器

摘要

一种用以产生电浆之电浆源线圈及电浆反应器，电浆源线圈系接收来自一电源供应器之电源，用以于一反应空间内产生均匀电浆。电浆源线圈包括m个单元线圈(m为一大于等于2之整数)，各单元线圈具有n匝(n为一正实数)。单元线圈系延伸出一线圈套管，且以一螺旋状之方式环绕线圈套管。其中，线圈套管系设置于电浆源线圈之中心，且有一预定半径。