含矽之反射防止膜及埋填材料之去除液与去除方法

摘要

本发明提供，含有至少一种选自有机酸及有机溶媒所成群者以及氢氟酸(HF)，用于除去含矽反射防止膜及埋填材料之去除液；及使用此等的反射防止膜及／或埋填材料之去除方法。