发明名称 | 导光板模仁制造方法 | ||
摘要 | 本发明系关于一种导光板模仁制造方法,其包括以下步骤:提供一基板,该基板具一表面;涂布光阻层于基板表面;以光源对光阻层进行曝光,控制光源之曝光强度,其曝光强度分布曲线与所预期图案之凸凹相一致;对该经过曝光之光阻层进行显影,得到具有变化厚度光阻层之基板;对该基板进行蚀刻,得到具有预定图案之导光板模仁。本发明可减少光罩的使用及不同光罩之间的制程造成导光板模仁上图案相互干扰的现象,并提高导光板模仁的精准度及导光板良率、生产效率及品质。 | ||
申请公布号 | TW200504472 | 申请公布日期 | 2005.02.01 |
申请号 | TW092120071 | 申请日期 | 2003.07.23 |
申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 陈杰良 |
分类号 | G03F7/26;G02B6/00 | 主分类号 | G03F7/26 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 台北县土城市自由街二号 |