微影装置及元件制造方法

摘要

一种具有高驱动力、高效率及低正交力之线性马达包括：两个对置的磁轨11与12及一包括三个开路线圈组之电枢13。该线性马达可用于驱动一微影投影装置中的平台，尤其是光罩平台。