使用光罩之图案形成方法以及用于光罩之遮罩资料产生方法

摘要

本发明的光罩系位于一透明基板之上，该光罩包括一半遮蔽部份，其具有相对于曝光用之光的传送特性；一透明部份，其具有相对于该曝光用之光的传送特性，并且系被该半遮蔽部份包围；以及一辅助图案，其系被该半遮蔽部份包围并且位于该透明部份周围。该半遮蔽部份及该透明部份会以彼此同相的方式来传送该曝光用之光。该辅助图案则会以与该半遮蔽部份及该透明部份反相的方式来传送该曝光用之光，并且不会经由曝光被转移。