利用带电粒子线之检查装置及使用该检查装置之装置制造方法

摘要

本发明系提供一种可使SEM方式之检查装置的检查速度更加快速、亦即提高处理量的方法。检查基板表面之检查装置，由电子源(25.1)所产生之电子作成交迭后，于试料W之方向以所希望之倍率成像并作成交迭。在通过该交迭时，于开口去除由该交迭变为杂讯之电子，将该交迭设成所希望之倍率，并进行调整使该交迭形成平行之电子线而以所希望之剖面形状照射基板。制作电子线使此时的电子线的照度不均度低于10％。由试料W放出之电子系藉由检测器(25.11)检出。