智慧型微影对位控制系统及其控制方法

摘要

一种自动微影对位矫正技术，用以维持并确保积体电路制程中，各沉积层正确对位；针对一制程单元之一系列制程，可以自动形成一对位控制表，并藉由上述对位控制表，计算出一对位矫正值，传回上述制程单元，藉以进行即时或是手动之对位矫正。