| 发明名称 |
Inspection tool for testing and adjusting a projection unit of a lithography system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
USH2114(H1) |
申请公布日期 |
2005.02.01 |
| 申请号 |
US20020298286 |
申请日期 |
2002.11.14 |
| 申请人 |
NIPPON KOGAKU KK |
发明人 |
NOVAK W THOMAS;MCCOY JOHN H;LEE MARTIN E |
| 分类号 |
G01B9/00;G01N21/956;G03F7/20;(IPC1-7):G01B9/00 |
主分类号 |
G01B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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