发明名称 具有一配置在延伸的主动区域上之铁电电容器的铁电记忆体装置
摘要 所揭示的为一种铁电记忆体装置,其防止跨于一铁电电容器上的电位差发生并使一在电容器制造期间所引入的步阶最小化。记忆体装置包含一第一切换电晶体,其闸极耦合至一正的字线,且其源极及汲极分别耦合于一位元线和一第一节点之间;一铁电电容器耦合于该第一节点及一平板线之间;以及一第二切换电晶体,其闸极耦合至一负的字线,且其源极及汲极分别耦合至该第一节点以及平板线。一在其上第二切换电晶体之源极以及平板线接触的第二节点形成于位于二个邻近的负字线之间的主动区域上;且铁电电容器形成于主动区域上。主动区域做得宽,以防止第二节点之电阻发生。
申请公布号 TWI227561 申请公布日期 2005.02.01
申请号 TW089127797 申请日期 2000.12.26
申请人 现代电子产业股份有限公司 发明人 金宰焕
分类号 H01L27/02;G11C11/22 主分类号 H01L27/02
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种铁电记忆体装置,其包含: 一第一切换电晶体,其闸极耦合至一正的字线,且 其源极和汲极分别耦合于一位元线以及一第一节 点之间; 一铁电电容器,耦合于该第一节点以及一平板线之 间; 一第二切换电晶体,其闸极耦合至一负的字线,且 其源极和汲极分别耦合至该第一节点以及平板线 之间; 其中一在第二切换电晶体之源极和平板线接触之 第二节点形成于位于二相邻负的字线之间的主动 区域上;以及 该铁电电容器形成于主动区域上。 2.如申请专利范围第1项之铁电记忆体装置,其中主 动区域做得宽,以防止第二节点之电阻发生。 3.如申请专利范围第1项之铁电记忆体装置,其中正 的字线以及负的字线,其彼此平行放置者,通过一 场氧化区域,且二个正的字线是被二个负的字线所 围绕;以及 位元线接触于主动区域,其是由二个正的字线以及 二个场氧化区域所围绕且通过场氧化区域。 4.如申请专利范围第3项之铁电记忆体装置,其中铁 电电容器与主动区域接触,其位于由正的字线,负 的字线以及二个场氧化区域经由一接线所围绕之 部份上。 图式简单说明: 图1为一传统铁电记忆体装置中之单位胞元之接线 图,其只显示二个单位胞元,其之每一个包括一切 换电晶体以及一铁电电容器; 图2为一图形化表示,显示一记忆体单元之结构,其 已于申请案中提出; 图3为一用以实现图2中所显示之记忆体单元之概 要布局; 图4A至4D为根据本发明之一较佳实施例之铁电记忆 体装之布局的图形化表示;以及 图5为一沿着图4D中之线A-A'所取的截面图。
地址 大韩民国