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发明名称 METHOD FOR FABRICATING THIN FILM TRANSISTOR TO OMIT DEHYDROGENATION PROCESS AND HYDROGENATION PROCESS OF HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON LAYER
摘要
申请公布号 KR100471392(B1) 申请公布日期 2005.02.01
申请号 KR19970071872 申请日期 1997.12.22
申请人 BOE HYDIS TECHNOLOGY CO., LTD. 发明人 HWANG, JEONG TAE;CHOI, DO HYEON
分类号 H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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