| 发明名称 |
Reticle inspection |
| 摘要 |
An electric field is induced from a feature of a reticle, and the field is measured.
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| 申请公布号 |
US6850050(B2) |
申请公布日期 |
2005.02.01 |
| 申请号 |
US20020155428 |
申请日期 |
2002.05.24 |
| 申请人 |
INTEL CORPORATION |
发明人 |
CHANDHOK MANISH;MONTOYA JULIAN |
| 分类号 |
G01R31/305;(IPC1-7):G01N27/00 |
主分类号 |
G01R31/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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