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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SEPARATING PRIMARY AND SECONDARY CHARGED PARTICLE BEAMS
摘要
申请公布号 KR20050010802(A) 申请公布日期 2005.01.28
申请号 KR20047018338 申请日期 2003.05.12
申请人 发明人
分类号 G01N23/225;H01J37/256;G01N23/22;H01J37/05;H01J37/147;H01J37/244;H01J37/28;H01L21/66 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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