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发明名称 IC TESTING APPARATUS
摘要
申请公布号 SG108211(A1) 申请公布日期 2005.01.28
申请号 SG19990003102 申请日期 1999.06.22
申请人 ADVANTEST CORPORATION 发明人 NOBORU SAITO
分类号 G01R31/26;G01R31/01;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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