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发明名称 WATER JET PROCESSING MACHINE
摘要
申请公布号 SG108325(A1) 申请公布日期 2005.01.28
申请号 SG20030006054 申请日期 2003.10.13
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 KAZUMA SEKIYA
分类号 B24C9/00;B05B7/04;B24B3/22;H01L21/301;(IPC1-7):B05B7/04 主分类号 B24C9/00
代理机构 代理人
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