| 摘要 |
<p>Bei einem Verfahren zum Einbringen einer Innenhöhlung in ein Substrat (1) wird das Substrat (1) bereitgestellt und der Werkstoff des Substrats (1) durch Aufbringen einer Zugspannung elastisch gedehnt. Danach wird ein Oberflächenbereich des Substrats (1) mit einer mindestens einer nuten- oder grabenförmigen Vertiefung versehen, die einander gegenüberliegende Seitenwände hat, von denen mindestens eine einen Überstand aufweist, der mit seiner am weitesten vorstehenden Stelle der gegenüberliegenden Seitenwand zugewandt ist. Die Dehnung des Substrats ist in Richtung einer von dem Überstand zu der gegenüberliegenden Seitenwand verlaufenden Linie orientiert oder weist eine in diese Richtung orientierte Komponente auf. Die Dehnung wird durch Reduzieren oder Entfernen der Zugspannung zumindest teilweise derart rückgängig gemacht, dass der Überstand die gegenüberliegende Seitenwand berührt und zwischen der Berühungsstelle und dem Grund der nuten- oder grabenförmigen Vertiefung die Innenhöhlung gebildet wird.</p> |
