发明名称 TROCKNUNGSSYSTEM UNTER VERWENDUNG EINER ÜBERKRITISCHEN FLÜSSIGKEIT
摘要
申请公布号 DE60016938(D1) 申请公布日期 2005.01.27
申请号 DE2000616938 申请日期 2000.09.20
申请人 S. C. FLUIDS, INC. 发明人 TSERONIS, JAMES;MORITZ, HEIKO;CHANDRA, MOHAN;JAFRI, IJAZ;TALBOTT, JONATHAN
分类号 F26B5/14;B01J3/00;B01J3/06;F26B9/06;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):F26B3/00 主分类号 F26B5/14
代理机构 代理人
主权项
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