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Ein Feld mit Öffnungen mit großem Aspektverhältnis ermöglicht eine schnelle und genaue Messung von Einfallswinkelabweichungen und/oder der Strahldivergenz. Das große Aspektverhältnis stellt sicher, dass nur Ionen mit einem vordefinierten kleinen Einfallswinkelbereich eine leitende Detektionsoberfläche erreichen können, wodurch eine wirksame Steuerung der Ionenstrahlparallelität ermöglicht wird, indem der Strahlstrom durch die Öffnungen mit dem großen Aspektverhältnis maximiert wird. Wenn ferner das Feld mit Öffnungen mit einzelnen Strahlstrommesspunkten versehen ist, können räumlich aufgelöste Intensitätsmessungen durchgeführt werden, die das Abschätzen der Strahlform ermöglichen. Somit kann eine bewegbare Faraday-Behälteranordnung durch das stationäre Feld mit Öffnungen mit großem Aspektverhältnis ersetzt werden, wodurch die Anlagenzuverlässigkeit verbessert wird.
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