Verfahren zur Herstellung eines organischen Dünnfilmbauelements unter Verwendung einer Sputtervorrichtung des Typs der einander gegenüberliegenden Targets
摘要
申请公布号
DE60201147(T2)
申请公布日期
2005.01.27
申请号
DE20026001147T
申请日期
2002.05.14
申请人
KIDO, JUNJI;INTERNATIONAL MFG. AND ENGINEERING SERVICES CO., LTD.
