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发明名称 Prüfstation
摘要
申请公布号 DE10297648(T5) 申请公布日期 2005.01.27
申请号 DE20021097648T 申请日期 2002.12.04
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人 NAVRATIL, PETER;FROEMKE, BRAD;STEWART, CRAIG;LORD, ANTHONY;SPENCER, JEFF;RUMBAUGH, SCOTT;FISHER, GAVIN;MCCANN, PETE;JONES, ROD
分类号 G01R1/18;G01R31/02;G01R31/28;G01R31/311;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/18
代理机构 代理人
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