| 发明名称 |
EXTRAKTION UND ABBREMSUNG VON NIEDERENERGIESTRAHLEN MIT GERINGER STRAHLDIVERGENZ |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60104716(T2) |
申请公布日期 |
2005.01.27 |
| 申请号 |
DE20016004716T |
申请日期 |
2001.11.20 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC., GLOUCESTER;K2 KELLER CONSULTING, LLC |
发明人 |
KELLER, JOHN H. |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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