| 发明名称 |
Acceleration sensor |
| 摘要 |
An acceleration sensor includes a piezoelectric single-plate having a weight part and a detection part. The piezoelectric single-plate is, for example, an X-cut plate of LiNbO3.
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| 申请公布号 |
US2005016274(A1) |
申请公布日期 |
2005.01.27 |
| 申请号 |
US20040921876 |
申请日期 |
2004.08.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED;FUJITSU MEDIA DEVICES LIMITED |
发明人 |
TANAKA HIROSHI;ISHIKAWA HIROSHI;IKATA OSAMU |
| 分类号 |
H01L41/08;G01P15/09;(IPC1-7):G01P15/09 |
主分类号 |
H01L41/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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