发明名称 |
LOW RESISTIVITY SEMICONDUCTOR UNDERPASS CONNECTOR AND FABRICATION METHOD THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
CA891179(A) |
申请公布日期 |
1972.01.18 |
申请号 |
CAD891179 |
申请日期 |
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申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
BENJAMIN AGUSTA;MARTIN S. HESS |
分类号 |
H01L21/316;H01L21/74;H01L21/761;H01L21/82;H01L23/535;H01L27/07;(IPC1-7):H01L27/07 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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