发明名称 LOW RESISTIVITY SEMICONDUCTOR UNDERPASS CONNECTOR AND FABRICATION METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 CA891179(A) 申请公布日期 1972.01.18
申请号 CAD891179 申请日期
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BENJAMIN AGUSTA;MARTIN S. HESS
分类号 H01L21/316;H01L21/74;H01L21/761;H01L21/82;H01L23/535;H01L27/07;(IPC1-7):H01L27/07 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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