一种采用双压电梁驱动的膜片气泵

摘要

本实用新型公开了属于精密机械中微型流体泵领域的一种采用双压电梁驱动的膜片气泵。它由一个腔体、两个双压电梁、一个带有单向阀的膜片以及引出电极。其中双压电梁一端固支，另一端与膜片的侧边相连。泵腔内的双压电梁通入交变电压驱动膜片在谐振点振动，通过膜片上单向阀的作用，使空气沿一个方向流动，实现与外界的气体交换。这种气泵具有结构简单、输出流量大、功耗低、侧面尺寸小、无电磁噪音、可动部件少、可靠性高等诸多优点，适用于微电子芯片的散热和冷却。

主权项

1.一种采用双压电梁驱动的膜片气泵，该膜片气泵由一个腔体、两个双压电梁、一个带有单向阀的膜片组成；其特征在于：所述膜片(7)将泵腔分为上腔(10)、下腔(9)两部分，双压电梁(1)一端与膜片(7)的侧边相连，另一端卡入下腔(9)侧壁上的槽(8)内，并在上腔顶板(2)上设有单向阀(3)，膜片(7)上(设有单向阀(6)，下腔(9)侧壁上有孔(4)。