发明名称 METHOD OF DEPOSITING SILICON WITH HIGH STEP COVERAGE
摘要
申请公布号 EP1060287(B1) 申请公布日期 2005.01.26
申请号 EP19990911165 申请日期 1999.03.05
申请人 ASM AMERICA, INC. 发明人 RAAIJMAKERS, IVO;POMAREDE, CHRISTOPHE, FRANCOIS, LILIAN;VAN DER JEUGD, CORNELIUS, ALEXANDER;GSCHWANDTNER, ALEXANDER;GRASSL, ANDREAS
分类号 C23C16/04;C23C16/24;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/334;H01L21/768;(IPC1-7):C23C16/44;C23C14/14 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利