激光直接刻蚀制作软边光阑的方法

摘要

一种激光直接刻蚀制作软边光阑的方法，主要是通过计算机编程、绘图、转换成矢量图、输入振镜控制软件，最终通过振镜系统控制光纤激光器的激光束在载物平台上的软边光阑材料上扫描，直接刻蚀出软边光阑。本发明利用了计算机编程绘图的灵活性，能实现各种不同参数的软边光阑的绘制，又利用光纤激光器输出的高光束质量和计算机系统对振镜系统的精密控制，能实现软边光阑复杂边缘的制作，具有方便、快捷、批量生产、环保等优点。

主权项

1、一种激光直接刻蚀制作软边光阑的方法，该方法包括下列步骤：①按照软边光阑的设计公式r0(θ0)＝1+0.1sin(4θ0)sin(40θ)编程输入计算机并绘制软边光阑图；②将软边光阑图转化为振镜控制软件能识别的矢量图，输入到振镜控制软件中；③将光纤激光器(1)、振镜系统(2)、计算机(3)、数据线(7)、载物平台(4)等搭建好刻蚀软边光阑的系统，并调节载物平台，使之处于振镜系统的f-θ聚焦透镜的焦点附近；④在载物平台(4)置制作软边光阑的材料(5)，再精密调节载物平台(4)的高度，使f-θ聚焦透镜聚焦在材料(5)上；⑤打开激光器(1)，计算机(3)根据振镜控制软件，按软边光阑图案，控制振镜系统(2)调节激光(6)输出，在样品材料(5)上扫描，完成软边光阑的制作。