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发明名称
摘要
申请公布号
JP3613251(B2)
申请公布日期
2005.01.26
申请号
JP20020057273
申请日期
2002.03.04
申请人
发明人
分类号
F25B21/02;H01L23/38;H01L35/28;H01L35/32;(IPC1-7):H01L35/32
主分类号
F25B21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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