主权项 |
1、一种电磁型微机械阵列光开关,由n×m个1×2的光开关组装而成,是利用微细加工工艺的高精度特点将n×m个光开关定子集成在铁氧体基板上一次加工而成,其中每个光开关包括,上金属基板(1a)、下金属基板(1b)、上轴承(2a)、下轴承(2b)、上铁氧体基板(3a)、下铁氧体基板(3b)、上定子绕组(4a)、下定子绕组(4b)、转轴(5)、永磁体(6)和反射镜(7),其特征在于连接方式为:上金属基板(1a)、下金属基板(1b)内设有孔,上轴承(2a)安装在上金属基板(1a)的孔内、而下轴承(2b)安装在上金属基板(1b)的孔内,上铁氧体基板(3a)和下铁氧体基板(3b)分别设在上金属基板(1a)和下金属基板(1b)上,上定子绕组(4a)采用微细加工工艺在上铁氧体基板(3a)上制造,下定子绕组(4b)采用微细加工工艺在下铁氧体基板(3b)上制造,上定子绕组和下定子绕组均采用双稳态的线圈结构,永磁体(6)夹在上定子绕组(4a)和下定子绕组(4b)之间,并分别与定子绕组(4a、4b)之间有一定的气隙,上铁氧体基板(3a)、下铁氧体基板(3b)、上定子绕组(4a)、下定子绕组和永磁体(6)的中心均设孔,孔位均与上金属基板(1a)、下金属基板(1b)上的孔位对齐,并略大于转轴(5)的直径,转轴(5)从上至下依次贯穿上金属基板、上铁氧体基板、上定子绕组永磁体、下定子绕组、下铁氧体基板和下金属基板,转轴(5)的一端安装反射镜(7)。 |