发明名称 电磁型微机械阵列光开关
摘要 电磁型微机械阵列光开关属于光通信领域。本发明包括:金属基板、轴承、铁氧体基板、定子绕组、转轴、永磁体和反射镜,其连接方式为:金属基板内设有孔,轴承安装在金属基板的孔内,铁氧体基板设在金属基板上,定子绕组采用微细加工工艺在铁氧体基板上将n×m个光开关定子一次制造而成,永磁体夹在两层定子绕组之间,与定子绕组之间有一定的气隙,铁氧体基板上的定子绕组中心均设孔,孔位均与金属基板上的孔位对齐,并略大于它,转轴贯穿铁氧体基板、定子绕组,并和上下金属基板配合,转轴与永磁体固定在一起,转轴的一端安装反射镜。本发明具有实质性特点和显著进步,本发明体积小、易制造、易控制、低功耗和长寿命。
申请公布号 CN1186660C 申请公布日期 2005.01.26
申请号 CN02111465.X 申请日期 2002.04.23
申请人 上海交通大学 发明人 张琛;王莉
分类号 G02B6/35 主分类号 G02B6/35
代理机构 上海交达专利事务所 代理人 王锡麟
主权项 1、一种电磁型微机械阵列光开关,由n×m个1×2的光开关组装而成,是利用微细加工工艺的高精度特点将n×m个光开关定子集成在铁氧体基板上一次加工而成,其中每个光开关包括,上金属基板(1a)、下金属基板(1b)、上轴承(2a)、下轴承(2b)、上铁氧体基板(3a)、下铁氧体基板(3b)、上定子绕组(4a)、下定子绕组(4b)、转轴(5)、永磁体(6)和反射镜(7),其特征在于连接方式为:上金属基板(1a)、下金属基板(1b)内设有孔,上轴承(2a)安装在上金属基板(1a)的孔内、而下轴承(2b)安装在上金属基板(1b)的孔内,上铁氧体基板(3a)和下铁氧体基板(3b)分别设在上金属基板(1a)和下金属基板(1b)上,上定子绕组(4a)采用微细加工工艺在上铁氧体基板(3a)上制造,下定子绕组(4b)采用微细加工工艺在下铁氧体基板(3b)上制造,上定子绕组和下定子绕组均采用双稳态的线圈结构,永磁体(6)夹在上定子绕组(4a)和下定子绕组(4b)之间,并分别与定子绕组(4a、4b)之间有一定的气隙,上铁氧体基板(3a)、下铁氧体基板(3b)、上定子绕组(4a)、下定子绕组和永磁体(6)的中心均设孔,孔位均与上金属基板(1a)、下金属基板(1b)上的孔位对齐,并略大于转轴(5)的直径,转轴(5)从上至下依次贯穿上金属基板、上铁氧体基板、上定子绕组永磁体、下定子绕组、下铁氧体基板和下金属基板,转轴(5)的一端安装反射镜(7)。
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